株式会社ハイブリッジ

東京営業所

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】

最終更新日: 2023/07/13
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着ができます!

『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで
設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置(デポアップ)です。
シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。

【特長】
■高真空排気系:<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能
■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置
■省スペース/小型化:W500×D395mmサイズで卓上型
■お手持ちの排気系、膜厚計を取付可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■抵抗加熱蒸発源
・Niメッキされた銅電極により酸化抑制工具不要で蒸着ボートの交換作業容易
・ボート以外にフィラメントの装着も可能
■基板保持機構
・Φ70の試料ステージは上蓋をハッチ式のチャンバ上蓋に設置してある為、試料交換作業が容易
・オプションで加熱/冷却機構の実装可能
■蒸着シャッタ
・手動式直線型シャッター機構により任意の安定した電流値で成膜のスタート/ストップ制御が可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社ハイブリッジ 東京営業所