最終更新日:
2023-07-13 10:24:34.0
高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤フリーのメカニズムで、コンパクトな設計！容易に取り付けられアフターメンテナンスも簡単！
『高真空対応ゲートバルブ』は、高真空対応のベローズ軸シール、潤滑剤
フリーのメカニズムで、コンパクトな設計です。低振動、高品質で多種を
ラインアップしており、リーズナブルな価格でご提供いたします。
【仕様（抜粋）】
■リーク量
・本体（メタルシール）：2.7×10^-11 Pa・m3/sec
・本体（バイトンシール）：2.7×10^-10 Pa・m3/sec
・ゲート部：1・3×10^-9 PA・m3/sec
■使用真空領域：大気圧～2.7×10^-11 Pa・m3/sec
■圧空：5Kgf/cm2
■取付方向：自由
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他仕様（抜粋）】
■材質
・本体：SUS304
・ゲート：SUS304
・ボンネット：SUS304
・シリンダー：A6061
・ベローズ：SUS304
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