株式会社アイテス

EBAC(吸収電流)法による不良箇所の絞込み

最終更新日: 2020-08-21 10:14:40.0
「SEM像」や「吸収電流像(電流センス)」など!配線のオープン不良、高抵抗不良箇所を特定します

当社では、分析解析・信頼性評価サービスなどを行っております。

『EBAC(吸収電流)法による不良箇所の絞込み』では、
ナノプローバと高感度アンプを用いたEBAC法により配線の
オープン不良、高抵抗不良箇所を特定します。

吸収電流を電圧センスすることで、配線内の抵抗分圧に基づいた
コントラストが得られるため、ビアチェーンなどのTEGで⾼抵抗
不良箇所を検出することもできます。

【EBAC法による解析事例】
■SEM像
■重ね合わせ画像
■吸収電流像(電流センス)
■吸収電流像(電圧センス)

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