VersaTorr BVT100シリーズ
VersaTorr BVT200シリーズ
製品ニュース
掲載開始日:
2024-11-06 00:00:00.0
ピラニー真空計「VersaTorrシリーズ」は、ダイヤフラム式と
MEMSピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、
キャパシタンスマノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を
可能にしたトリプルセンサーのBVT200シリーズで製品展開しています。
新開発のMEMSピラニ―センサーは、一般的なMEMSピラニ―センサーと
比べ1桁低い7.5 x 10E-7 Torrまでのワイドレンジ測定を可能としています。
ピラニーセンサーが気体の熱損失の影響を受ける1.5～1000Torrの高圧領域はダイヤフラム式でカバーすることにより、7.5 x 10E-7 ～1000Torrまでのワイドレンジ測定を可能にしています。
詳細な情報につきましては下記ウェブサイト（英語版）をご覧ください。
https://www.brooksinstrument.com/en/products/pressure-vacuum/pirani-transducers
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