『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフローコントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールは専用のソフトウェアであるブルックスエキスパートサポートツール(BEST)を使用することで数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。
SLA5800シリーズは、微少流量(3sccm)から大流量(2500slpm)まで安定した流量制御をご提供することが可能なモデルです。弊社専用ソフト (BEST:Brooks Expert Support Tool) を使用いただくことによりお客様のプロセスにあったPID定数の変更や各種データをモニタリング(アラーム・バルブ開度等)することが可能です。 これらのデータはトラブルシューティングにも活用することが可能であり装置のダウンタイムの削減に貢献可能です。
★ SLA5800シリーズ/ GF40と専用ソフトウェアの接続には有償の専用ケーブルが必要です。ブルックスエキスパートサポートツール(BEST)は、一部の機能を除いて無償でお使いいただけます。
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