製品ニュース

圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！

オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御…

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に
合わせてご紹介しましたパネル資料です。

■ ワイドな流量範囲/圧力条件とデジタルI/Oに対応
■ 証明書と認証
■ アプリケーション

こちらよりご覧ください。
https://www…

新しいQuantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です

Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世…

【新製品情報】
コリオリ式マスフローコントローラ/メータ『QMCシリーズ』
GF120xHTシリーズ メタルシール仕様『高温用マスフローコントローラ』

★【パネル資料】にて特長をご確認ください！

オンラインでの説明会も承ります。
ご興味ある方はお気軽にお問い合わせください。
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ピラニー真空計「VersaTorrシリーズ」は、ダイヤフラム式と
MEMSピラニ―式のデュアルセンサー方式のBVT100シリーズと、
キャパシタンスマノメーターを融合してよりワイドレンジの測定を
可能にしたトリプルセンサーのBVT200シリーズで製品展開しています。

新開発のMEMSピラ…

『PTI(圧力変動耐性)を搭載したMFC』

超高速応答と高い清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代のPTI（圧力変動耐性）を搭載したメタルシール仕様のマスフローコントローラです。入口圧力の変動によるプロセスガス流量への影響を大幅に削減します。GF125に標準で搭載されているMulti…

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、
プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には
想像できなかったような機能を備えています。

このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で
利用されている薄膜…

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像
できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した
のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器…

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像
できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した
のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。

【薄膜技術　ご利用用途】
・マイクロエレクトロニクス
・ガラスの反射防止膜
・医療機器…

チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されるこ…

低放射率（Low-E）コーティングを施した建築用ガラスは、最も人気のある機能的な建築材料の一つとなっています。熱損失と内部結露を最小限に抑えることで、建築物のエネルギー効率と省エネルギー性を向上させる重要な役割を担っています。ガラスに施されたコーティング（薄膜）は、ガラスを通過する可視光エネルギーの…

モデル GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

『優れた応答速度や繰り返し性で、高清浄度・超高清浄度のプロセスガス供給を実現』

半導体、MOCVD、その他のガス流量コントロール用アプリケーショ…

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製…

GT1000、GT1300、Full-View(R) モデルの後継機種

『精度要件を満たすために作られたシンプル且つ堅牢な設計』

プロセス流体の視認が必要な気体および液体のアプリケーションにおいて、長期的に安定したパフォーマンスを実現する堅牢な設計で、小流量から大流量の測定に適したガラス…

プラスチックには適さない高圧や高温の液体や気体の流量を測定する
場合、当社の堅牢な「ガラス管式面積式流量計（ローターメータ）」を
使用すれば、より正確な流量を測定することが可能です。

より幅広い流量レンジができ、様々な液体や気体に適しています！

【特長】
■ガラス管面積式流量計
…

モデル 3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G

『幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応、 実証済みのメータ』

屋内や屋外を問わず、過酷なご使用環境下でも設置可能な構造：高圧条件、低温や高温の流体、遠隔監視のご用途には「MT3809シリーズ…

80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります！

プロジェクトの設計、調達、建設（EPC）請負業者が高性能な流量計技術と
高度な技術的専門知識を必要とするとき、当社は的確なソリューションの
ための信頼できるサプライヤーとなります。

製品は、原子力やバイオテクノロジー…

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。HME プロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他…

『最高の性能を最大限に引き出す』

半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。

GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスで…

GF40シリーズは、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したマスフロー
コントローラ/メータです。本機能はご購入時のガス種やフルスケールを
MultiFlo(TM)コンフィギュレータ（専用のソフトウェア）を使用すること
で数千パターンの異なる仕様への設定変更が可能です。変更可能なガス種…

長期安定性に優れ、生産の的確性を維持！信頼性、精度、繰り返し性の高い測定と制御を行います

『5850Eシリーズ』は、エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。

数十年に渡って、世界中の数千種類ものアプリケーションでアクティブに使用された実績を持つ本シリーズは、独自の安…

モデル GF40

『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』

1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ…

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用す…

■ マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』
1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使…

今、ご使用されているLegacyと呼ばれる古いマスフロ―の
修理や代替品の選定で、お困りではないですか？

この20年の間、市場では様々なメーカーのマスフロ―が販売され、それらの多くは今も現役で稼働しております。それらマスフロ―を取り扱っていたマスフローメーカーを、現在ブルックスインスツルメン…

モデル VDM300

『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』

蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機…

ここで取り上げる触媒の研究例はハーバー・ボッシュ法であり、肥料用のアンモニアを工業規模で生産するものです。 ハーバー・ボッシュ法とは、高温高圧下で金属触媒を使って窒素と水素を反応させてアンモニアを生産します。触媒の研究は常に進歩しており、現在ではさまざまな触媒が見つかっています。 ハーバー・ボッシュ…

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64

『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』

屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような…

近年、高圧ガスを用いたプロセスが盛んになってきており、マスフローコントローラー・メーターの高圧ガス保安法対応に対するニーズが高まってまいりました。当社では2018年以降サーマルマスフローコントローラー（SLA5850）の高圧ガス設備試験(KHK認証)合格品を化学・石油化学業界を中心にご提供させて頂き…

H2 & FC EXPO 水素燃料電池展（SMART ENERGY WEEK 春）出展に
合わせてご紹介しましたパネル資料です。

■ 新製品(コリオリ式マスフローと高温用マスフロー)

こちらよりご覧ください。
https://www.ipros.jp/catalog/deta…