ブルックスエキスパートサポートツール（BEST） | ITWジャパン株式会社

製品ニュース掲載開始日: 2024-08-21 00:00:00.0

ブルックスエクスパートサポートツール『BEST(Brooks Enhanced Support Tool)』は、SLA58XXおよびSLAMfXXシリーズ専用の、高機能マスフローコントローラ、メータ、圧力コントローラを制御するWindowsベースのアプリケーションソフトウェアです。このツールを使用することにより、セットアップ、設定、診断、トラブルシューティング、バルブ調整、キャリブレーション（別途ライセンスキーが必要）を含む機能を利用することができます。

デバイスの上部にある診断ポートとお使いのコンピュータを、専用ケーブルで接続してアクセスします。仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。

対応する製品は下記ページをご確認ください。
https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/accessories-software/product-software/brooks-expert-support-tool

■現在公開中のバージョン
V5.10.0.0、V5.12.0.0、V5.14.0.0

関連製品情報

マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』

デバイス1台でさまざまなガスと流量に対応し、柔軟な対応を実現しました！

『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフローコントローラ/メータです。さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント　±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF100シリーズ』

応答速度および繰り返し性に優れたガス流量コントロール用アプリケーション

『GF100シリーズ』は、優れた応答速度および繰り返し性で、高清浄度および超高清浄度のプロセスガス供給を実現したメタルシールマスフローコントローラ/メータです。高い繰り返し性と安定性能を確保し、業界標準を超える信頼性をご提供。業界最高レベルのガス清浄度を実現するとともに、プロセスの柔軟性と効率性を向上し、収率と生産性を最大限に拡大することができます。【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：700 ms - 1秒以下 ■フルスケール流量レート最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ または 10µ インチ Raの表面仕上げオプション ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサにより、温度が上昇しても、　測定の再現性を向上　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

メタルシールマスフローコントローラ/メータ『GF125シリーズ』

すべてを可能にするMFC

超高速応答時間と高レベルな清浄度を備えた『GF125シリーズ』は、第二世代の多変量計測、PTI（圧力変動耐性）メタルシールマスフローコントローラです。圧力と温度の変動によるプロセスガス流量の変動を最小限に抑制します。標準のMultiFlo テクノロジーにより、ガスラインから切り離したり、精度を犠牲にすることなく、数千種類ものガスタイプとレンジの組み合わせをサポートします。その結果、収率と生産性を最大限に拡張する業界最高のPTI性能とともに、各ポイントの圧力レギュレータ、圧力トランスデューサ、関連するハードウェア設置の必要性を減らすことにより、ガスパネルのサイズとコストを縮小します。【特長】 ■長期的なゼロ点安定性：0.5％フルスケール/年以下 ■セトリングタイム：300 ms - 700 ms以下 ■フルスケール流量レート最大300 slpm ■メタルシール流路：4µ インチ Raの表面仕上げ ■SEMI F20準拠接ガス･接液部材質 ■耐腐食ハステロイ(R) 製T-Riseセンサなど ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

圧力ベースマスフローコントローラ【GP200シリーズ】

最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

サーマルマスフローコントローラ/メータ『SLA5800シリーズ』

高圧ガス保安協会（KHK）の認証取得。都道府県の完成検査の手続きを簡略化。国内防爆（JPEx）の型式検定合格証も取得

サーマルマスフローコントローラ／メータ『SLA5800シリーズ』は、カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備え、水素・メタン・LNG・二酸化炭素・アンモニアなどの気体に対応した製品です。「SLA5850 マスフローコントローラノーマルクローズバルブ」は、高圧ガス保安協会（KHK）の認証を取得しており、都道府県での完成検査が認定証の提出のみで済むため、非常にスムーズな導入が可能になります。（フローメータでの対応も可能）【特長】 ■DEKRAより、国内防爆（JPEx）の型式検定合格証を取得済（対応品：マスフローコントローラ／メータ、プレッシャーコントローラ） ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

コリオリ式マスフローコントローラ/メータ Quantim QMC

第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式流量計は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です

Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。【特長】 ■真の質量流量測定 ■正確な密度測定 ■I/Oオプションの追加: 0-10 Vdc, 0-20 mA, RS485 S-Protocol ■豊富なシール材質、証明書、認証のオプション ■アクセスの容易なサービスポート ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

蒸気供給モジュール『VDM300』

超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現

蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUI（グラフィックユーザーインターフェース）により、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。【メリット】 ■実績と信頼性のあるサーマルマスフロー測定と制御技術を採用 ■さまざまな水供給圧にも対応 ■耐腐食処理を強化 ■クリーンな製造 ■アナログまたはデジタル通信を使用したツールインターフェース ■強化されたデータ収集またはトラブルシューティングのための　ダイレクトインターフェース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。

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