『GF40シリーズ』は、当社独自のMultiFloテクノロジーを搭載したサーマル式のマスフロー コントローラ/メータです。 さまざまなガスを使用する場合、ガスの種類を頻繁に変更する場合、制御精度は維持したまま、 フルスケールレンジを変更する必要のあるシステムやプロセスに好適です。 MultiFloテクノロジーは、比類のない柔軟性を提供します。 1台のデバイスで、数千パターンの異なるガス・流量範囲の組み合わせに対応しています。 【特長】 ■専用のソフトウェアで設定変更が可能な、マルチガス/マルチレンジ機能 ■エラストマシールのオプションが豊富ため、さまざまなガスに対応 ■長期安定性に優れたハステロイ製センサを採用 ■実ガス試験に基づく100種類以上のガスデータを搭載 ■負荷の高いアプリケーションでも、1秒未満の応答時間とセットポイント ±1%の制御精度を実現 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最新のサポートソフトウェアはBEST(Brooks Enhanced Support Tool)で、この度最新バージョンの5.4.0.0をリリースいたしました。
基準器との流量の合わせ込み(校正)などの一部の機能のライセンスと、接続ケーブルは有償にてご提供しております。 まだブルックスのサポートソフトウェアをお使いでないお客様は、この機会にBESTのご使用をご検討下さい。サポートソフトウェアを使うことによって、マスフロー単体では不可能な様々な機能と利点をご提供しています。
■マスフローの調整:ゼロ点、バルブ応答性の調整(PID調整)
■設定の変更:アラームの設定、入出力の設定
■コントロールとモニタ:マスフローの設定ファイルの保存と復帰
■各種診断機能:本体のLEDの点滅だけではわからない
各種のエラー情報の確認
■簡易操作:ソフトウェアからの流量、バルブ開度の制御
■有料オプション機能:基準器との流量の合わせ込み(校正)、
ターミナルコマンドのサポート
仕様、ライセンスの要件、操作方法については、お問い合わせください。
関連リンク
- サポートソフトBEST5.4.0.0リリース~サポート可能な機器のバリエーションが広がりました(2019.7)
BEST(Brooks Enhanced Support Tool)パソコンとマスフローを接続して様々なサービスを提供します。
- ブルックス エキスパートサポートツール(BEST)
BESTのカタログ、資料、インストーラーのダウンロードはこちら
- SLA5800シリーズ (Rev-A, Rev-B)
今回の最新バージョンからBESTでサポート可能な機器のバリエーションが広がりました。
- GF40シリーズ
今回の最新バージョンからBESTでサポート可能な機器のバリエーションが広がりました。
- QMBシリーズ
今回の最新バージョンからBESTでサポート可能な機器のバリエーションが広がりました。
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