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2021-04-21 00:00:00.0
【新製品】最高の性能を 最大限に引き出す「GP200シリーズ」のご紹介

GP200シリーズ「圧力ベースマスフローコントローラ」

GP200シリーズ「圧力ベースマスフローコントローラ」

製品ニュース   掲載開始日: 2021-04-21 00:00:00.0

最先端半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と再現性が向上しています。

＊ 1センサーで差圧を測定する事により. 流量精度再現性が飛躍的に向上します。
＊ 幅広い圧力、ガス種、プロセスに対応します。
＊ 最先端のバルブアーキテクチャーにより、 より正確で再現性の高い流量制御と応答性を実現します。
＊ ゼロリークバルブにより、「ファーストウェハ効果」を排除します。

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最高の性能を最大限に引き出す！先駆的な半導体プロセスのための最新型圧力ベースマスフロー

GP200シリーズは、従来の圧力センサーに代えて差圧センサーを採用し、 コントロールバルブをセンサーの下流に配置することで、 従来の圧力ベースMFCに比べて格段に流量計測の精度と 再現性が向上しています。 【特徴】 ■測定誤差の低減 ■すべてのプロセス条件に好適 ■高精度な流量制御 ■バルブリークを1/100に低減 ※詳しくはお問合せください。

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