■最大吐出量:100 mL/stroke
■最高吐出圧力範囲:0.05 – 0.1 MPa
■供給エアー圧力範囲:0.15 – 0.5 MPa
■最大エアー消費量:1.0 NL/stroke
■主要材質:SUS304 / PTFE、PFA
■液温範囲:20 – 60℃
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズ
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上
イワキより、イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズのご紹介です。
■□■特長■□■
■ウエハー洗浄液の濃度管理に
優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。
■優れた耐食性
接液部品は全てフッ素樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。
ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。
■安全設計
圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。
サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。
CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。
■幅広い吐出量範囲
柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。
工場出荷時はCFD-1T-B:1mL/shot、CFD-8T-B:8ml/shotに設定されています。
その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問合せ下さい。
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社イワキ