最終更新日:
2020-07-13 14:24:34.0
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
『イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ』は半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応可能ポンプです。
■□■特長■□■
■高精度
フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。
レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造。
シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。
フォトレジストへの空気混入を防止。
■ステンレス・フッ素樹脂製
接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプと、フッ素樹脂（PTFE、PFA）タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理にも安心。
■軽量・コンパクト設計
ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備。
（SB-4K/5/6を除く。）
システム組込みに最適な形状選択可能。
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。
基本情報
【ポンプ概略仕様】
■最大吐出量：100 mL/stroke
■最高吐出圧力範囲：0.05 – 0.1 MPa
■供給エアー圧力範囲：0.15 – 0.5 MPa
■最大エアー消費量：1.0 NL/stroke
■主要材質：SUS304 / PTFE、PFA
■液温範囲：20 – 60℃
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | SB series |
| 用途／実績例 | 詳しくはお問合せ下さい。 |
お問い合わせ
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株式会社イワキ
