株式会社イワキ

イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズ

最終更新日: 2024-01-16 14:38:45.0
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。

1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上

イワキより、イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■ウエハー洗浄液の濃度管理に
優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。

■優れた耐食性
接液部品は全てフッ素樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。
ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。

■安全設計
圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。
サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。
CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。

■幅広い吐出量範囲
柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。
工場出荷時はCFD-1T-B:1mL/shot、CFD-8T-B:8ml/shotに設定されています。

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。

基本情報

【概略仕様】
■型式:CFD-1T-B・CFD-8T-B
■最大吐出量:1mL/shot・8mL/shot
■供給エアー圧力:0.15~0.3MPa
■最大エアー消費量:2.5NL/min注・5.4NL/min注
■最大ストローク数:30spm
■主要材質:PTFE、PFA、PCTFE
■液温範囲:20〜60℃
注:供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 CFD series
用途/実績例 詳しくはお問い合わせ下さい。

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社イワキ

製品・サービス一覧(125件)を見る