株式会社イワキ

イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ

最終更新日: 2024-10-03 16:53:29.0

イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。

イワキより、イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズのご紹介です。

■□■特長■□■

■高精度
フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。
レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック(オプション)を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造。
シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。
フォトレジストへの空気混入を防止。

■ステンレス・フッ素樹脂製
接液部材質は、ステンレス(SUS304)タイプと、フッ素樹脂(PTFE、PFA)タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理にも安心。

■軽量・コンパクト設計
ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備。
(SB-4K/5/6を除く。)
システム組込みに最適な形状選択可能。


その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問合せ下さい。

関連情報

イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ 製品画像
【ポンプ概略仕様】
■最大吐出量:100 mL/stroke
■最高吐出圧力範囲:0.05 – 0.1 MPa
■供給エアー圧力範囲:0.15 – 0.5 MPa
■最大エアー消費量:1.0 NL/stroke
■主要材質:SUS304 / PTFE、PFA
■液温範囲:20 – 60℃

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズ
イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズ 製品画像
【概略仕様】
■型式:CFD-1T-B・CFD-8T-B
■最大吐出量:1mL/shot・8mL/shot
■供給エアー圧力:0.15~0.3MPa
■最大エアー消費量:2.5NL/min注・5.4NL/min注
■最大ストローク数:30spm
■主要材質:PTFE、PFA、PCTFE
■液温範囲:20〜60℃
注:供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。

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