■最大吐出量:100 mL/stroke
■最高吐出圧力範囲:0.05 – 0.1 MPa
■供給エアー圧力範囲:0.15 – 0.5 MPa
■最大エアー消費量:1.0 NL/stroke
■主要材質:SUS304 / PTFE、PFA
■液温範囲:20 – 60℃
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
イワキより、イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズのご紹介です。
■□■特長■□■
■高精度
フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。
レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック(オプション)を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。
ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造。
シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。
フォトレジストへの空気混入を防止。
■ステンレス・フッ素樹脂製
接液部材質は、ステンレス(SUS304)タイプと、フッ素樹脂(PTFE、PFA)タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理にも安心。
■軽量・コンパクト設計
ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備。
(SB-4K/5/6を除く。)
システム組込みに最適な形状選択可能。
その他機能や詳細については、カタログダウンロードもしくはお問合せ下さい。
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社イワキ