最終更新日:
2020-06-23 15:56:30.0
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
■高速ストローク
■コンタミフリー
■幅広い液温範囲・高圧吐出
基本情報
【特長】
■高速ストローク
ポンプストロークの高速化(Max. 240 spm)により小型・軽量・ローコスト化を実現するとともに、脈動の低減を図りました。
■コンタミフリー
接液部には全てフッ素樹脂を採用。ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施すなど金属露出のない設計です。また、独自開発のシャフトシール (PAT.) の採用でパーティクルの発生が一段と少なくなりました。
■幅広い液温範囲・高圧吐出
液温範囲は5〜180℃、吐出圧力はMax. 0.45 MPaまで可能なため、洗浄プロセスやCMPプロセスはもとより、薬供プロセスでも使用可能です。
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | FSシリーズ |
| 用途／実績例 | お問い合わせ下さい |
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