【ナノポジショナ&高精度ステージ】
*超高真空・高磁場・非磁性対応
*耐荷重:ナノメートルスケール分解能で数kgまで可能
*クローズドループ制御可能:高速、高分解能、高い位置再現性
【干渉式リニア変位センサ】
*ピコオーダー分解能と長い作動距離(5m)
*超高速(10MHz)
*多様な材質や極端環境(超高真空、高磁場)に対応
*超高真空・高磁場・非磁性対応
*耐荷重:ナノメートルスケール分解能で数kgまで可能
*クローズドループ制御可能:高速、高分解能、高い位置再現性
【干渉式リニア変位センサ】
*ピコオーダー分解能と長い作動距離(5m)
*超高速(10MHz)
*多様な材質や極端環境(超高真空、高磁場)に対応