株式会社日本レーザー

attocube 超高精度モーション&センサ製品(半導体製造装置向け)

最終更新日: 2023-10-19 17:36:48.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

『ナノ位置決めステージ』『レーザ干渉式変位センサ』
『ナノ位置決めステージ』『レーザ干渉式変位センサ』 製品画像
【ナノポジショナ&高精度ステージ】
*超高真空・高磁場・非磁性対応
*耐荷重:ナノメートルスケール分解能で数kgまで可能
*クローズドループ制御可能:高速、高分解能、高い位置再現性

【干渉式リニア変位センサ】
*ピコオーダー分解能と長い作動距離(5m)
*超高速(10MHz)
*多様な材質や極端環境(超高真空、高磁場)に対応

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