最終更新日:
2024-04-08 18:17:33.0
ナノメートル精度で変位・変形・振動を計測。超高真空・高磁場対応。最大５ｍ作動距離。幅広い材質に対応。
attocube(アトキューブ)社のレーザー干渉式変位センサは、物体のリニア運動の変動量を測定する装置です。
さまざまな材料や形状をもつ対象物の変位を、数ミリメートルから数メートルまでの広い範囲で測定できます。
小型モジュール式で、3軸まで構成可能です。
位置信号はクローズドループ位置決めシステムのフィードバックシグナルとして利用できます。
回転の振れ測定、振動測定、工作機械の校正など、高度な品質管理（QC）や品質保証（QA）の達成に貢献します。
【特長】
■ピコオーダー分解能
■広い作動距離範囲：数ミリメートルから最大5メートル
■高磁場、超高真空対応可能
■モジュール式セットアップ
■超コンパクトなセンサヘッド
■3軸（X,Y, Z）構成可能
※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。
基本情報
最大センサ軸数：3
動作距離（WD）：0...5000 mm (センサヘッドにより異なる)
センサ分解能：1 pm
ターゲット速度：最高 2 m/s
測定帯域幅：10 MHz
※詳しくはお問い合わせください。
| 価格情報 | お問い合わせください |
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| 型番・ブランド名 | - |
| 用途／実績例 | 【分野】ラボテスト、ビームライン、振動計測、校正用途、ウェハ＆マスク検査、クローズドループ・モーションコントロール、正確性評価、特殊環境下での位置決め用途 【導入例】 ・半導体製造（ウェハステージのダイナミックモーションコントロール、測定・検査でのビームアライメント、ウェハ平坦度測定、リソグラフィと測定プロセスにおけるビームアパーチャやフィルタの位置決め、フォトリソグラフィでの超精密ポジショントラッキング） ・工作機械（ステージガイドによる超精密インライン・トラベルリアルタイム特性制御、工作機械とCMMの体積補正、モーションキャプチャのためのセンサ組み込み、座標測定機のモーショントラッキング、振動分析・補正） ・フォトニクス（超精密ファイバ位置決め、ビームステアリング、高分解能顕微鏡） |
ラインナップ
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| IDS3010 | コンパクトなモジュール型 レーザー干渉式変位センサです。 |
お問い合わせ
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株式会社日本レーザー
