株式会社日本レーザー

『ナノ位置決めステージ』『レーザ干渉式変位センサ』

最終更新日: 2024-02-26 16:12:32.0
ナノオーダーの高精度位置決めと、1ピコメートルのセンサ分解能による変位測定で、高品質の半導体製造を実現

当社は、attocube社製の半導体製造装置向け『ナノ位置決めステージ』や
『レーザ干渉式変位センサ』を取り扱っています。

高精度の位置決めを実現でき、数kgの荷重量に対応したステージなど
様々なニーズに応えられる製品をラインアップ。
クローズドループ制御に対応しており、精密な制御を実現可能です。
非常にコンパクトで、装置への組み込みも容易に行えます。

【製品ラインアップ】
『ナノ位置決めステージ』
■高真空・超真空対応
■過酷な環境下でも高精度・高分解能での位置決め
■最大6軸までのステージを構築可能

『レーザ干渉式変位センサ IDS3010』
■ピコメートルオーダーの高精度・高分解能
■10MHzの超高速動作、最大5mの作動距離
■様々な材質、超高真空・高磁場などの環境に対応

※詳しくはカタログをご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連動画

基本情報

【ナノポジショナ&高精度ステージ】
*超高真空・高磁場・非磁性対応
*耐荷重:ナノメートルスケール分解能で数kgまで可能
*クローズドループ制御可能:高速、高分解能、高い位置再現性

【干渉式リニア変位センサ】
*ピコオーダー分解能と長い作動距離(5m)
*超高速(10MHz)
*多様な材質や極端環境(超高真空、高磁場)に対応

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【工作機械(QA, QC)】
*ステージガイドによる超精密インライン・トラベルリアルタイム特性制御
*工作機械とCMMの自動体積補正
*センサ内蔵によるモーションキャプチャ
*三次元測定機のモーショントラッキング
*振動と微動の監視・分析・補正

【半導体製造装置】
*ウェハステージのダイナミックモーションコントロール
*測定・検査のためのビームアライメント
*ウェハ平坦度測定
*リソグラフィと測定プロセスにおけるビームアパーチャとフィルタの位置決め
*フォトリソグラフィにおける超精密ポジショントラッキング

【フォトニクス】
*ファイバアレイの超精密位置決め
*光計測におけるレーザービームステアリングや光学部品のアライメント
*高分解能顕微鏡内の位置決めやアライメント

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

株式会社日本レーザー

製品・サービス一覧(190件)を見る