有機ナノ薄膜処理技術 「NANOS(ナノス)」は、特殊なフッ素系高分子をスプレー処理・真空蒸着によってステンレス(SUS)やニッケル(Ni)などの金属やガラス基材に対して、撥水性・撥油性・防汚性(耐指紋性)・滑り性(動摩擦係数)向上などの機能膜を付与することが出来る技術です。
プロセス全体の最高温度が80℃と基材への熱影響が小さく、無色・透明のため、光学特性への影響もほとんどありません。
【採用例】
■対象:転写プロセス用治具(凹版など)
■目的:転写性向上(離型剤レス)
【特徴】
○優れた撥水性・撥油性
純水:110°以上・n-ヘキサデカン:68°以上
○薄い膜厚をコントロール可能
スプレー処理:5~10nm(任意に1nm刻みでコントロール)
真空蒸着:5~45nm(任意に5nm刻みでコントロール)
○光学特性への影響が少ない(無色・透明)
○低温プロセス
弊社の表面処理方法には、蒸着とスプレー方法の2つがございます。処理方法の指定はもちろん、お任せいただいても構いません。ぜひ一度ご相談ください!(機械本体の販売については要相談)
基本情報
【採用実績と効果】
[スプレー法]
○スキャナ用コンタクトガラス
→汚れ付着防止、メンテナンスの向上
○光学部品(レンズ、カバーガラスなど)
→撥水性付与、汚れ(耐指紋)付着防止
○タッチパネル
→汚れ(耐指紋)付着防止
○はんだ印刷用メタルマスク
→印刷性向上、メンテナンスの軽減
[真空蒸着法]
○インクジェットヘッド
→印刷性向上
○光学部品用金型
→離型性向上
○スタンパ金型
→離型性向上、タクトタイムの短縮
○ナノインプリント用金型
→離型性向上、微細形状への追従性が高い
○転写プロセス用治具(凹版など)
→転写性向上(離型剤レス)
○フォトマスク
→レジストの付着防止
○AFM、STM用プローブ
→異物の付着防止
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