ケイエルブイ株式会社

超高感度VUV,EUV,X線領域対応 CCDカメラ ALEX-i

最終更新日: 2023-04-13 19:15:17.0

  • カタログ

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラ

VUV、EUV、軟X線、硬X線領域に対応した超高感度のCCDカメラです。
高感度のCCDと冷却技術により高いSN比を実現しています。
CMOSカメラでは測定できないような微弱な信号の検出が可能です。

■超高感度
最大98%の高い量子効率を実現したCCDセンサーで、微弱な信号を測定可能
18bitデジタルによる高いダイナミックレンジを実現し、強い信号と弱い信号を同時に測定可能
-100℃まで冷却するTE冷却システムが、0.00015e-/pixel/sの非常に低い暗電流を実現

■カメラとしての高い性能
最大5MHzのフレームレートで読み出しが可能
GigE と USB3.0の複数インターフェースを搭載
カメラのソフトウェアとSDKを提供

■真空装置での使用に最適
CFフランジのDN63、DN100、 DN160に対応しており、真空装置への取り付けが簡単
カメラの設計と素材への工夫により80度ベークへの耐性があり、UHV(Ultra High Vacuum)で使用が可能

■製品モデル
greateyes社のALEXシリーズは、解像度に応じて、
 1k1k
 2k2k
 2k2k plus
 4k4k
の4つのランナップをご用意しています。

また、それぞれのラインナップでCCDのセンサータイプ
 -前面照射型CCD(FI)
 -背面照射型CCD(BI)
 -フリンジ抑制考慮ディープディプレッション型CCD(BI DD)
 -背面照射型CCD[高感度型](BI UV1)
を用途に応じてお選びいただけます。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 Greateyes「ALEX-i」
用途/実績例 EUVリソグラフィー
X線トモグラフィー
フーリエ変換ホログラフィー
X線透視撮影法
コヒーレント回折イメージング
X線タイコグラフィ―
斜入射小角X線散乱法(GISAXS)

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