幅広い用途を網羅した超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）バイポーラ技術によるプラズマ源
独自の技術である、超小型ECR（電子サイクロトロン共鳴）プラズマ源により、あらゆるサイズと形状のイオンビームや電子ビームの作成が可能です。
また複数のプラズマ源を独立して、同時に動作することにより、柔軟なイオンおよび電子ビームソリューションの設計と製造が出来、幅広いアプリケーションに対応致します。
■特徴
・手のひらに収まる超小型低消費電力
・用途に合わせてイオン源、電子源、プラズマ源、原子源を選択可能
・ビーム形状やビームサイズを変換可能
・フランジの有無で任意の場所に設置可能
・メンテナンス性がよい
■モデル
・TES-GO
・TES-40
・TES-63
・TES-100
・NanoVac
【スペック】
※TES-40モデルを一例として一部掲載しております。
・使用可能ガス:H₂, He, N₂, O₂, 貴ガス, 分子ガス He
・マイクロ波電力:0.5～5 W (2.45GHz)
・最大エネルギー:5 kV
・フランジタイプ:CF40
※TES-40モデルを一例として一部掲載しております。
・使用可能ガス:H₂, He, N₂, O₂, 貴ガス, 分子ガス He
・マイクロ波電力:0.5～5 W (2.45GHz)
・最大エネルギー:5 kV
・フランジタイプ:CF40
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Polygon Physics |
| 用途／実績例 |
・中和 ・電子化学 ・高出力電子線(ビーム) ・エッチング ・スパッタリング ・表面活性化 ・ビームライン ・アクセラレーター ・質量分析 ・イオンビーム加工 ・表面改質 |
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ケイエルブイ株式会社
