【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空対応超音波モータ

最終更新日: 2024-04-23 09:27:16.0

【国内半導体製造メーカー様ご採用】真空中での高速移動と精密位置決めを合わせもつ、半導体製造で使用されている超音波モータ

Nanomotion社の超音波モータは、さまざまなサイズがあり、大気中から超高真空までの環境に適しています。
半導体業界の各種マイクロステージから300mmウェーハ検査ステージまで、幅広いアプリケーション向けのモーションプラットフォームを構築してきました。

Nanomotion社の超音波モータの特徴は、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でもステージを保持できます。
モータ単体では最大32Nの駆動力ですが、より多くのトルクが必要な場面では複数の超音波モータを取り付けることで駆動力を増すことが可能です。
また高真空中で使用でき、イオンビームの用途向けに非磁性モデルも用意しております。

■SEモータ（最新型）
1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
7nmプロセスのための開発コンソーシアムにNanomotion社も関わって開発した超音波モータ。国内メーカーでも注目。

■HRモータ（標準型）
1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力　
国内メーカーで多数使用されている超音波モータ

工苑WEB展示会『半導体分野』

基本情報

【主な超音波】
■HRモータ（標準型）
1μm～250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力　
■SEモータ（最新型）
1μm～500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力

価格情報	カスタム製品のため都度お見積りとなります
納期	お問い合わせください
型番・ブランド名	Nanomotion製半導体製造装置向け超音波モータ
用途／実績例	【代表的なステージ試作・開発事例（国内外）】 ○イオンビーム（FIB）検査用4軸(X-Y-Z-T)ステージ ○半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ ○ウェハ検査用レンズの駆動モジュール ○光学式ウェハ検査用多軸ステージ

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