上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
ウェハ外観検査装置(画像式)
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【検出可能な最小欠陥】
30um
【対象形状】
円形:直径200mm以下
矩形:140mm□以下
※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。
【検査時間】
100PPH
お問い合わせ
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株式会社クボタ計装