株式会社クボタ計装

ウェハ外観検査装置(画像式)

最終更新日: 2024-10-23 16:16:54.0

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ウェハの欠陥目視検査を自動化を実現

■以下のご要望・お困りごとにお応えする装置です!
・ウェハ(基板)の欠陥目視検査を自動化したい。
・検査員ごとの合否判定ばらつき低減、防止したい。
・検査データの保存、品質のトレースを行いたい。
・自動で欠陥弁別したい。

■装置の特長
・目視可能な欠陥を自動で検出、抽出、弁別できます。
・欠陥種類に合わせて最適化した光学系の提案が可能です。
・手動機/自動搬送(カセットtoカセット)とも提案可能です。
・AI機能も実装しており、学習を進めることで
欠陥弁別精度向上が可能です。

【検出可能な最小欠陥】
 30um

【対象形状】
 円形:直径200mm以下
 矩形:140mm□以下
 ※上記以上のサイズを測定されたい場合、ご相談ください。

【検査時間】
 100PPH
価格情報 詳しくはお問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 K-VI-G100
用途/実績例 詳しくはお問い合わせください

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