※詳しくはダウンロードよりPDF資料をご覧ください。
最終更新日:
2023-05-31 14:39:08.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2023/05/31
最大50kVDC対応、小型、ワンタッチで抜き差し可能！ SHV 型やMHV 型コネクタより小型で脱着が容易な高電圧コネクタ。
医療・研究機器・半導体製造装置のプラズマ電源やイオン注入装置電源など多様なアプリケーションにご採用実績あり！
高精度なプッシュプルコネクタを提供するレモでは、絶縁性を高める設計を追求し小型でありながら非常に高い電圧まで耐えられるコネクタを多数揃えております。また、真空チャンバー用に気密封止型カプラーも
ご準備しておりますので気圧差のある環境での接続も可能です。
○最大50kVDC 対応
○豊富なコンタクトバリエーション
○多種多様なコンタクトタイプ
○高電圧コネクタケーブル加工品
○レモオリジナル高電圧同軸型ケーブル
○気密ソケットあり（真空チャンバー用）
関連情報
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。
主なアプリケーション分野：
高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置
高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置
気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー
■ 測長SEM他検査測定装置
耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源
小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM 他 検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。
主なアプリケーション分野：
高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置
高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置
気密（高真空）仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー
■ 測長SEM他検査測定装置
耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源
小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM 他 検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【特長】
■最大50kVDC 対応
■豊富なコンタクトバリエーション
■多種多様なコネクタタイプ
■高電圧コネクタケーブル加工品をご提供
■レモオリジナルの高電圧編組シールド付きケーブル
■気密ソケットあり（真空チャンバー用）
通常の高電圧単極（同軸）のみでなく、4～21極、最大51極の多極コンタクトタイプや、高電圧と信号や同軸をひとつのコネクタにまとめた複合コンタクトタイプなど、豊富なコンタクトバリエーションを取り揃えております。
安全保持を強く意識した、導通時のコネクタ抜け事故を防ぐセーフティナット付きタイプもございます。
※セーフティナット付きタイプ：コネクタに取付けられたセーフティナットを締めることにより、プラグボディがロックされコネクタの“抜き差し”が出来なくなるコネクタです。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<a href="https://www.lemo.co.jp/application/machines/semiconductor.html">レモジャパン半導体製造装置ページ</a>
■最大50kVDC 対応
■豊富なコンタクトバリエーション
■多種多様なコネクタタイプ
■高電圧コネクタケーブル加工品をご提供
■レモオリジナルの高電圧編組シールド付きケーブル
■気密ソケットあり（真空チャンバー用）
通常の高電圧単極（同軸）のみでなく、4～21極、最大51極の多極コンタクトタイプや、高電圧と信号や同軸をひとつのコネクタにまとめた複合コンタクトタイプなど、豊富なコンタクトバリエーションを取り揃えております。
安全保持を強く意識した、導通時のコネクタ抜け事故を防ぐセーフティナット付きタイプもございます。
※セーフティナット付きタイプ：コネクタに取付けられたセーフティナットを締めることにより、プラグボディがロックされコネクタの“抜き差し”が出来なくなるコネクタです。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<a href="https://www.lemo.co.jp/application/machines/semiconductor.html">レモジャパン半導体製造装置ページ</a>
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