レモジャパン株式会社

【カタログ】半導体製造装置用コネクタ

最終更新日: 2022-11-10 17:36:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2018/10/30
ワンタッチでのすばやい嵌合・脱着が可能なLEMO社の小型コネクタは、過酷な環境下での使用に十二分に耐えうる高性能コネクタです!
○高密度
○小型同軸
○非磁性
○高電圧シールドコネクタ:最大50kVDC 対応
○信頼性の高い真空気密レセプタクルと
 真空フィールドスルーカプラ
 真空(気密)、He 漏れ率:1x10⁻⁷ mbar.ℓ/s (1x10⁻⁸ Pa. ㎥ /s). 以下
 まで対応可能
○耐高温/ 耐熱性
 (非防水モデル:~ 250℃、防水モデル:~ 200℃動作可能)


詳細はカタログをご覧ください。
弊社HP▶https://www.lemo.co.jp/

関連情報

高真空、耐高温、高電圧、高密度!「半導体製造装置用コネクタ」
高真空、耐高温、高電圧、高密度!「半導体製造装置用コネクタ」 製品画像
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。

主なアプリケーション分野:

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密(高真空)仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー 
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM 他 検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【資料】『半導体製造装置における 現状の課題と対策』※実例掲載
【資料】『半導体製造装置における 現状の課題と対策』※実例掲載 製品画像
レモジャパンは、過酷な環境下に強い高品質なコネクタを得意とするスイスのコネクタメーカーLEMOの子会社です。

国内にケーブル加工の自社工場を有しているため、コネクタとケーブルをとりつけたかたちで納品することが得意です。one-stopserviceでお客様の手間を省き、一貫してサポートいたします。

コネクタおよびケーブル加工や、半導体製造装置開発に関わるお悩み、ぜひ一度お気軽にご相談くださいませ。

※詳しくはお気軽にお問い合わせくださいませ。
【コネクタの用途例】同軸コネクタ
【コネクタの用途例】同軸コネクタ 製品画像
【特徴】
○標準規格NIM-CAMAC CD/N 549のベースになっている
○各種素粒子物理の基礎的な研究機関で、幅広く多く使用されている

【ラインナップ】
○00シリーズ
○Sシリーズ(非防水・室内用)
○Eシリーズ(防水・室外用)

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【コネクタの用途例】高電圧コネクタ
【コネクタの用途例】高電圧コネクタ 製品画像
【ラインナップ】
○高電圧標準型/Yシリーズ
○屋内用/Sシリーズ
○屋内用/Bシリーズ
○高電圧多極型/5Gシリーズ
○屋外用/Eシリーズ
○屋外用/Kシリーズ
○高電圧小型/05シリーズ
○高電圧角型/REDEL-K/Sシリーズ

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【コネクタの用途例】気密・防水モデルコネクタ
【コネクタの用途例】気密・防水モデルコネクタ 製品画像
【気密・防水モデルの仕様概要】
[例]
○HVG.0W.304.CLLP
→シリコン製OリングとAraldaite(エポキシ)処置の防水コネクタ
○HVG.0W.304.CLLPV
→バイトン製OリングとAraldaite(エポキシ)処置の気密・防水コネクタ
○HVG.0W.304.CLLS
→シリコン製OリングとStycast(エポキシ)処置の防水コネクタ
○HVG.0W.304.CLLSV
→バイトン製のOリングとStycast(エポキシ)処置の気密・防水コネクタ

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LEMOバーチャルブースOPEN!半導体製造装置向けWEB展示会
LEMOバーチャルブースOPEN!半導体製造装置向けWEB展示会 製品画像
バーチャル展示会『LEMO Semiconductor Solution on-line Exhibition』
オープン:2020年12月8日(火)
・入場無料
【展示会内容】
・【終了しました】ウェビナー『TECHTALK』開催
・アプリケーション別ソリューション紹介
・採用事例紹介
・【終了しました】有人でのチャット対応
・オンライン名刺交換でオリジナルノベルティが当たる!キャンペーン実施
・オンライン商談予約
・LEMOコネクタソリューション紹介動画 など

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