レモジャパン株式会社

【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション

最終更新日: 2021-01-25 15:53:00.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2020/12/01
今後の更なる装置の高機能化・省スペース化にもマッチした高電圧ソリューションを提供いたします。
半導体の高精度化と微細化、またその半導体を必要とする分野が急速に拡大することに伴って、現在半導体製造におけるプロセス装置は今まで以上に高電圧化が進みながら、装置自体の小型化が強く求められています。
レモコネクタは、今後の半導体製造装置の進化に対してプッシュプル・小型高電圧製品で「お客様の電圧増加・省スペース化の課題を解決」いたします。

●高電圧:
最大50kVDCまで対応可。単極・多極・複合・気密等豊富なラインナップ
"耐ノイズ性に優れたレモオリジナル高電圧編組シールド付きケーブルもご用意"
"(シールド付きPVC被覆線、試験電圧6~60kVDC対応、1重絶縁ケーブル、UL認定品 etc.)"

上記のような特徴を活かし、数多くのモデルを半導体製造装置でご使用いただいております。

関連情報

高電圧コネクタ&高電圧編組シールド付きケーブル
高電圧コネクタ&高電圧編組シールド付きケーブル 製品画像
【特長】
■最大50kVDC 対応
■豊富なコンタクトバリエーション
■多種多様なコネクタタイプ
■高電圧コネクタケーブル加工品をご提供
■レモオリジナルの高電圧編組シールド付きケーブル
■気密ソケットあり(真空チャンバー用)

通常の高電圧単極(同軸)のみでなく、4~21極、最大51極の多極コンタクトタイプや、高電圧と信号や同軸をひとつのコネクタにまとめた複合コンタクトタイプなど、豊富なコンタクトバリエーションを取り揃えております。

安全保持を強く意識した、導通時のコネクタ抜け事故を防ぐセーフティナット付きタイプもございます。
※セーフティナット付きタイプ:コネクタに取付けられたセーフティナットを締めることにより、プラグボディがロックされコネクタの“抜き差し”が出来なくなるコネクタです。



※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

<a href="https://www.lemo.co.jp/application/machines/semiconductor.html">レモジャパン半導体製造装置ページ</a>
LEMOケーブル加工のご案内【動画あり】
LEMOケーブル加工のご案内【動画あり】 製品画像
【加工実績一覧】
○光・同軸・信号などの複合ハーネス
○高電圧ハーネス
○高密度な多ピンコネクタハーネス
○防滴~水中用防水ハーネス
○気密性耐圧加工ハーネス
○非磁性ハーネス
○カールケーブルハーネス
○医療用特殊ラインハーネス
・・・など他にも加工実績有り
お気軽にお問合せ下さい!
【コネクタの用途例】高電圧コネクタ
【コネクタの用途例】高電圧コネクタ 製品画像
【ラインナップ】
○高電圧標準型/Yシリーズ
○屋内用/Sシリーズ
○屋内用/Bシリーズ
○高電圧多極型/5Gシリーズ
○屋外用/Eシリーズ
○屋外用/Kシリーズ
○高電圧小型/05シリーズ
○高電圧角型/REDEL-K/Sシリーズ

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション
【資料】高電流・高周波対応可能の高電圧コネクタソリューション 製品画像
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。


主なアプリケーション分野:

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密(高真空)仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー 
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM 他 検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ


詳しくはお問い合わせ、または資料をダウンロードしてください。
高真空、耐高温、高電圧、高密度!「半導体製造装置用コネクタ」
高真空、耐高温、高電圧、高密度!「半導体製造装置用コネクタ」 製品画像
レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。
レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。

主なアプリケーション分野:

高密度
■ スパッタリング装置
■ ドライエッチング装置
■ 露光装置用温度測定器
■ 測長SEM他検査測定装置

高電圧
■ イオン注入装置
■ 高電圧・高周波電源装置
■ PZT駆動装置
■ 測長SEM他検査測定装置

気密(高真空)仕様
■ ウェハハンドリング
■ セラミックヒータ
■ 電子ビーム描画装置
■ 真空チャンバー 
■ 測長SEM他検査測定装置

耐高温/耐熱性
■ セラミックヒータ
■ ドライエッチング装置
■ マスフローコントローラ
■ モールド装置
■ 露光装置光源

小型同軸
■ 電子ビーム描画装置
■ 測長SEM 他 検査測定装置
■ PZT駆動装置
■ 各種センサ

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