高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V) カタログ製品カタログ | カタログ

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V) カタログ

最終更新日: 2024-10-15 13:48:59.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

量産向け　NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用　高生産性　連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
「AMAX」シリーズは、層間絶縁膜・パッシベーション膜(保護膜)・エピタキシャル(Epitaxial)ウェハ用バックシール等のシリコン酸化膜(SiO2膜)の成膜を目的とした、連続式常圧CVD装置(APCVD装置)です。
ウェハを載せたトレーを連続で搬送させ、下部より加熱しながらディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を通過させることで成膜させることで、高スループット(高生産性)を実現。
トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定したプロセス性能を得ることが可能となりました。
トレー交換を容易に行える自動交換機能など、メンテナンス性も良好です。
AMAX800Vは、8インチまでのウェハに対応し、最大で1時間あたり100枚の成膜が可能。
また、AMAX800Vのメンテナンス性を更に向上させたAMAX800V2もラインナップしております。
●装置サイズ(mm): 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
●ガス種: SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2)
●成膜温度: 350～430℃

関連情報

高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)

ウェハを載せたトレーを連続で搬送させ、下部より加熱しながらディスパージョンヘッド(ガスノズル)下を通過させることで成膜させることで、高スループット(高生産性)を実現しました。
トレー材質にはSiCを採用することで、重金属汚染(メタルコンタミネーション)を最小限にし、また長期的に安定したプロセス性能を得ることが可能となりました。
トレー交換を容易に行える自動交換機能など、メンテナンス性も良好です。
AMAX800Vは、8インチまでのウェハに対応し、最大で1時間あたり100枚の成膜が可能です。
また、AMAX800Vのメンテナンス性を更に向上させたAMAX800V2もラインナップしております。
●装置サイズ(mm): 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
●ガス種: SiH4/O2系 (SiH4/PH3/B2H6/O2/N2)
●成膜温度: 350～430℃

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