ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH修理対応致します。
最終更新日：
2024-03-26 08:54:53.0
ガラス状カーボンコート「被覆層を形成する技術」
ガラス状カーボンコートは、黒鉛材料に独自の樹脂をコーティングし、これを焼成することでガラス状カーボンの被覆層を形成する技術です。
最終更新日：
2023-11-01 11:47:34.0
特殊合金管 「高強度」「高耐蝕性」「研磨性」「管楽器等に使用」
銅管、黄銅管に比べ高強度、高耐蝕性及び研磨性など高機能性を持たせた合金管。大手楽器メーカーの管楽器に採用されています。
最終更新日：
2023-11-01 11:44:15.0
快削黄銅管 「優れた快削性」
銅は熱伝導性に優れた金属で、加工性も良好。抗菌効果も確認済み。お客様の用途に合わせて必要なサイズに伸管が可能です。
最終更新日：
2023-11-01 11:43:14.0
半導体製造装置制御装置 仮想化システム「レガシー製品延命に寄与」
サポート終了の半導体製造装置の長期使用・保守改善・メンテナンスの救世主。老朽化する高価半導体製造装置の制御装置延命処置。
最終更新日：
2023-11-01 11:39:13.0
SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます
最終更新日：
2023-11-01 11:38:07.0
レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」
露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！
最終更新日：
2023-11-01 11:37:18.0
再結晶SiC (HE801)「最適な表面改質で多くの用途に対応」
高強度、高熱伝導のSiCを基材とした熱処理用道具材。プラズマ溶射での表面改質により、多くの用途に対応。
最終更新日：
2023-11-01 11:36:22.0
シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作致します
最終更新日：
2023-11-01 11:32:42.0
インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用
最終更新日：
2023-11-01 11:25:27.0
管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です。
最終更新日：
2023-11-01 11:23:31.0
二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター 最高1800℃使用可能！
二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせた設計が可能
最終更新日：
2023-11-01 11:22:38.0
ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
最終更新日：
2023-11-01 11:18:39.0
SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。
最終更新日：
2023-11-01 11:17:39.0
マスクゴムシート(メッキマスクゴムシート)「豊富な種類」
リードフレーム、その他メッキ時等のマスキング材として利用されている「シリコーンゴムシート」です。
最終更新日：
2023-11-01 10:54:01.0
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
最終更新日：
2023-11-01 10:45:23.0
ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
最終更新日：
2023-11-01 10:44:17.0
スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
最終更新日：
2023-11-01 10:42:34.0
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
最終更新日：
2023-11-01 10:38:50.0
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
最終更新日：
2023-11-01 10:37:55.0
表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
最終更新日：
2023-11-01 11:46:37.0
シリコーンゴム成型品「半導体製造装置」「医療機器用部品」等に好適
シリコーンは耐熱性、耐候性、電気絶縁性に優れており、半導体製造・医療・食品・エレクトロニクスなど様々な分野で使用されております。
最終更新日：
2024-02-09 16:00:13.0
最大1600℃の電気炉向けヒーター｜SiCヒーター（炭化ケイ素）
800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！
最終更新日：
2023-11-01 11:21:49.0
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