スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備!RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 最終更新日: 2023-11-01 10:42:34.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
IPA蒸気乾燥装置IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4~8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能 最終更新日: 2023-11-01 10:43:30.0 お問い合わせ/資料請求
ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能 最終更新日: 2023-11-01 10:44:17.0 お問い合わせ/資料請求
SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。 最終更新日: 2023-11-01 11:17:39.0 お問い合わせ/資料請求
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上) 最終更新日: 2023-11-01 10:45:23.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。 最終更新日: 2023-11-01 11:18:39.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
カーボン接着剤「炭素材料用の高強度・耐熱接着剤」炭素材料用の高強度・耐熱接着剤。炭素材料の優れた特性を損なうことなく接着可能。 最終更新日: 2023-11-01 11:19:36.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
最大1600℃の電気炉向けヒーター|SiCヒーター(炭化ケイ素)800℃~1600℃での高温使用が可能!ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能! 最終更新日: 2023-11-01 11:21:49.0 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター 最高1800℃使用可能!二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせた設計が可能 最終更新日: 2023-11-01 11:22:38.0 お問い合わせ/資料請求
管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です。 最終更新日: 2023-11-01 11:23:31.0 お問い合わせ/資料請求
インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています!高純度アルミナを使用 最終更新日: 2023-11-01 11:25:27.0 お問い合わせ/資料請求
溶融シリカ質耐火物 (GLASSUN)「低い熱伝導率」高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物GLASSUN 熱衝撃への強い耐久力、低い熱伝導率が応用範囲の広さを実現 最終更新日: 2023-11-01 11:35:23.0 お問い合わせ/資料請求
シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作致します 最終更新日: 2023-11-01 11:32:42.0 お問い合わせ/資料請求
再結晶SiC (HE801)「最適な表面改質で多くの用途に対応」高強度、高熱伝導のSiCを基材とした熱処理用道具材。プラズマ溶射での表面改質により、多くの用途に対応。 最終更新日: 2023-11-01 11:36:22.0 お問い合わせ/資料請求