高分解能で極小部位を高速測定、微小なキズを検出【測定事例集進呈】

最終更新日: 2022-08-08 17:16:35.0

小型化・高機能化が加速する高性能電子部品の製品検査に。グローバルで支持される光学式3D表面形状測定機『MarSurf CL』

MarSurf CLは、形状測定やキズの検出にかかる時間を大幅に短縮でき、全数検査も実現可能です。
高分解能で、微小なキズの検出や極小部位の測定に好適。
192本のプロフィールを取得するクロマチックラインセンサーCLが
非接触での平面の高速測定を可能にします。

★電子部品・半導体の測定事例を掲載した資料を進呈中！PDFダウンロードよりご覧下さい
■測定部品例 - □評価項目例
■ウエハー -バンプ - □断面粗さ(R／2D)　□形状・寸法　□ステップハイト　□３D高さ・２Dサイズ
■マイクロビア - □ステップハイト　□断面粗さ(R／2D)
■ワイヤーボンディング - □ステップハイト（ループ高さ)　□トポグラフィーレイヤー　□形状
■表面実装部品 - □位置度、寸法　□ステップハイト
■ダイアタッチ - □3D画像　□厚さ、高さ　□最大高さ　□サイズ □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞　□形状（高さ、輪郭） □ステップハイト
■フィルム - □厚み
■携帯電話用スピーカー - □表面粗さ(S／3D)＜ISO 25178準拠＞、平坦度
■ウエハ― - □研磨　□反り

基本情報

【MarSurf CLの特長】
◎192本のプロフィール取得が可能な「クロマチックラインセンサーCL」による高速非接触測定
　→平面の高速測定に好適。100×100mmを最短1分で測定！広範囲の測定にも。
　→光沢面、透明な表面も測定可能。
　→測定対象物にキズをつけない非接触測定。

◎Z方向0.02μm、X方向1μmの高分解能
　→微小なキズの検出や極小部位の測定に対応。

◎ロングストロークのXY電動テーブル、グラナイト製ベースを採用
　→さまざまな形状・大きさの測定物に。大型・重い測定物にも対応。

※テクニカルデータなど詳細は製品カタログをご覧ください。
※PDFダウンロード時に表示される『興味を持ったきっかけ』の欄は株式会社イプロスのAIによって表示されております。

価格帯	お問い合わせください
納期	お問い合わせください ※ 納期についてはお問い合わせください。
型番・ブランド名	光学式 3D表面形状測定機／ MarSurf CL
用途／実績例	【導入実績】・自動車部品　・電子部品／半導体　・鉄鋼　・切削工具・太陽光パネル　・医療用高精密部品　・レンズ　・印刷【評価項目例 3D／2D】・輪郭　・真直度　・断面積　・層厚　・反り/平坦度・形状　・体積／摩耗　・表面粗さ(R)　・断面粗さ(S) ※当社ではお客様のニーズに応じたソリューション提案も行っています。　製品・部品の形状測定でお困りの方はお気軽にご相談ください。

ラインナップ

型番	概要
MarSurf CL

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度必須	通常至急
ご要望必須	購入希望デモ希望サンプル希望見積もり希望カタログ送付希望価格表送付希望連絡希望訪問希望その他
目的必須	新規購入既存入れ替え仕様確認のため購入検討中情報収集中顧客への提案
添付資料
お問い合わせ内容	【ご利用上の注意】お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。