上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
各種産業機械・設備、真空機器、工業材料、化成品、情報機器製造設備などの輸出入・販売を行う株式会社マツボーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
仕様に応じて、チャンバー寸法、ソース数等を設計します。
「複合型PVDコーティング装置」
仕様に応じて、チャンバー寸法、ソース数等を設計します。
「複合型PVDコーティング装置」
関連情報
複合型PVDコーティング装置
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【特徴】
［HCD搭載アークイオンプレーティング装置］
○仕様に応じて、チャンバー寸法、ソース数等を設計
○成膜源の複合搭載：HCD【ホロカソード】＋ＡＩＰ【アークイオン】
○HCDでのボンバード：イオン化率90%のArイオンで強力エッジング
○シャッター方式：成膜源前シャッターによりドロップレットの低減
○独自開発のiDフィルム：深さ方向で組成比の傾斜された膜を生成
○iDフィルム適用膜：ＴｉＮ,CrN,ＴｉＣＮ,TiCrN,ＴｉＡｌＮ,AlTiN, ZrN,TiZrN,TiSiN,TiAlSiN
○アプリケーション
→表面改質：切削工具・金型・電子部品等
→カラーリング：意匠鋼板・携帯電話ケース・ドア等
【装置バリエーション】
○HCDイオンプレーティング装置
○HCD搭載スパッタ装置
○スパッタインライン装置
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
お問い合わせ
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株式会社マツボー
