上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
各種産業機械・設備、真空機器、工業材料、化成品、情報機器製造設備などの輸出入・販売を行う株式会社マツボーの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
成膜せずにドーピングで物質の表面を改質するのが特徴の
「大面積イオンビーム照射装置」
成膜せずにドーピングで物質の表面を改質するのが特徴の
「大面積イオンビーム照射装置」
関連情報
大面積イオンビーム照射装置
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【特徴】
○加速されたイオンを製品表面内に注入させることによって表面を改質する方法
○メタル・セラミック・ポリマーなどの表面特性を向上
○韓国原子力研究所より技術ライセンス
○基本仕様
→イオンビームエネルギー：～300KeV
→イオンビーム電流： 5～50 mA
→イオンビーム照射面積：400mm×400mm
○処理効果
→機械的な特性向上：耐摩耗性の向上・耐疲労性の向上・摩擦力の減少
→電気/光学的な特性の向上：電気伝導性・紫外線の遮断
→化学的な特性の向上：親水/疎水性・耐酸化性・耐腐食性・非晶質化
○適用分野
→半導体製造(ドーピング)、静電気防止、電磁波遮蔽、耐久性、耐摩耗性、
宝石発色、親水・疏水性処理など
○応用装置
→大面積イオン照射機
→イオンビームスパッタリングシステム
→ハイカレントイオンインプランター
○アプリケーション
→ヘアクリッパー・ブラックダイヤモンド・サンバイザー・ICトレイ
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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