本資料は、半導体製造プロセスで使用される超純水・純水の
水質モニタリングに関するホワイトペーパーです。
代表的な純水分配システムや、
排水の回収・リサイクル・再利用を検討するべき理由などについて、
当社のTOCセンサ「6000TOCi」の特長や導入効果を交えて解説しています。
【掲載内容(抜粋)】
■半導体製造施設における水の使用量
■排水処理施設の課題
■水再生戦略
■排水の測定・制御・分離・収集
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基本情報
【TOCセンサ「6000TOCi」特長】
■TOC変化の迅速な検知が重要な純水アプリケーションに好適
■測定値を毎秒更新するリアルタイム測定で、変動を見逃さないデータを提供
■実績のあるUV技術と高精度の導電率センサにより、再現性のある正確な測定が可能
■高度なシステム診断により、効果的なTOC測定を保証
■わずか8.5mL/minの流量で動作する水効率の高いセンサにより、高価な水の使用を抑制
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メトラー・トレド株式会社