【利点】
■1500℃以上でも使用可能
■超高真空中でアウトガスが少ない
■多くの腐食性ガス・液体に対して不活性
■多くの溶融金属に浸食されない
■長寿命
■異方性結晶構造による優れた機械特性と耐熱衝撃性
■安定した温度再現性、および優れた均熱特性
■小さい熱容量による高速熱応答性
■ヒータ一体型の静電チャックも可能
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
■1500℃以上でも使用可能
■超高真空中でアウトガスが少ない
■多くの腐食性ガス・液体に対して不活性
■多くの溶融金属に浸食されない
■長寿命
■異方性結晶構造による優れた機械特性と耐熱衝撃性
■安定した温度再現性、および優れた均熱特性
■小さい熱容量による高速熱応答性
■ヒータ一体型の静電チャックも可能
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。