モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

『PBNヒータ&静電チャック』

最終更新日: 2021-11-04 13:15:40.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

優れた寸法安定性と電気的安定性を発揮!先駆的な技術を使用したPBNとPGの複合体
Momentiveの『PBNヒータ』と『高温静電チャック(ESC)』は、電気絶縁性の熱分解窒化硼素と導電体である熱分解黒鉛の先端技術を使用した複合体です。

高純度で、高温下でも脱ガスが非常に少ない特長は、高温での化学的気相蒸着から生み出されています。

高い熱伝導性と異方性は優れた面内均熱性をもたらしています。

【特長】
■超高温対応(100w/cm2を超える電力密度)
■寸法安定性と電気的安定性
■ヒータ面内で温度勾配をつけることができる
■急速昇降温に対応

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連情報

PBNヒータ&静電チャック
PBNヒータ&静電チャック 製品画像
【利点】
■1500℃以上でも使用可能
■超高真空中でアウトガスが少ない
■多くの腐食性ガス・液体に対して不活性
■多くの溶融金属に浸食されない
■長寿命
■異方性結晶構造による優れた機械特性と耐熱衝撃性
■安定した温度再現性、および優れた均熱特性
■小さい熱容量による高速熱応答性
■ヒータ一体型の静電チャックも可能

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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