最終更新日:
2022-07-25 11:10:37.0
シリコン半導体・SiCおよびGaN製パワー半導体製造プロセスに対応。高温、真空、腐食性ガス雰囲気中などで優れた性能を発揮。
パイロリティックボロンナイトライド（PBN）やタンタルカーバイドは高い耐熱性や耐腐食性を有し、
急速昇降温・超高温を容易に実現できるセラミックスです。
PBNは色々な形状に蒸着製造または加工が可能。
超高温ヒータや高温静電チャック、グラファイト保護コーティングもございます。
PBN機能部品は有機ELの製造プロセス、半導体単結晶成長プロセス、
その他の高温真空プロセスなどの改善に貢献します。
【特長】
■12インチウェハ（300mmウェハ）にも対応
■超高真空・高温（1700℃※）条件で使用できる
■高温下でも高い電気絶縁性を維持できる
■靭性があるため割れにくい
■化学的に安定
※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
※社内テストによる実績です。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 高性能ヒータおよび静電チャック 用途 ・急速昇降温によるウェハ熱処理 ・窒化物半導体の成膜 ・PVD （スパッタ、MBE、蒸着など） ・イオン注入 ・ガラス加熱 ・真空中での高温加熱 PBN(超高純度窒化ホウ素)部品 用途 ・真空蒸着用ルツボ ・結晶成長用ルツボ ・反応・焼成用容器 ・高温での電気絶縁部品 ・高温腐食性雰囲気での部品 グラファイト保護コーティング 用途 ・超高温用ヒータ ・窒化物半導体成膜用部品 ・ウェハトレイ ・高温用歯車 ・SiC半導体結晶成長および成膜用部品 |
お問い合わせ
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