※社内テストによる実績です。
最終更新日:
2021-11-04 13:15:40.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。
グラファイト部品にPBN（熱分解窒化ホウ素）、PG（熱分解グラファイト）、TaC（タンタルカーバイド）などのコーティングを施した製品です。ウェハトレイ、ヒータ、歯車、チューブ、ルツボなど色々な製品、形状に対応可能です。
【特長】
１）高温のNH3、H2などの腐食性雰囲気でグラファイトを保護します。
２）電気絶縁性、導電性両方のコーティングがあります。
３）高温のMOCVD用部品を保護します。
４）優れた被覆性を有しています。
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