一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】最表面シラノール基の評価_C0377

最終更新日: 2023-04-07 17:35:26.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2023/04/07
TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です
ガラスやウエハ表面のシラノール基(Si-OH)の存在は、表面の撥水性や親水性などの特性に影響を与えます。そのため、その後の表面処理に影響を与える可能性が高く制御が必要となります。
シラノール基の定量をTOF-SIMSで行った事例をご紹介します。評価を行うにあたり、濃度の異なる数種類のサンプルを用いて検量線を作成しました。測定例では、材質・状態の異なるサンプル表面のシラ
ノール基を比較しました。

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