一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

【分析事例】最表面シラノール基の評価

最終更新日: 2023-04-07 17:32:08.0
TOF-SIMSでシラノール基の定量的な評価が可能です

ガラスやウエハ表面のシラノール基(Si-OH)の存在は、表面の撥水性や親水性などの特性に影響を与えます。そのため、その後の表面処理に影響を与える可能性が高く制御が必要となります。
シラノール基の定量をTOF-SIMSで行った事例をご紹介します。評価を行うにあたり、濃度の異なる数種類のサンプルを用いて検量線を作成しました。測定例では、材質・状態の異なるサンプル表面のシラノール基を比較しました。
測定法:TOF-SIMS
製品分野:LSI・メモリ・電子部品
分析目的:組成評価・同定

詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

基本情報

詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。

価格情報 -
納期 お問い合わせください
用途/実績例 LSI・メモリ・電子部品の分析です

お問い合わせ

下記のフォームにお問い合わせ内容をご記入ください。
※お問い合わせには会員登録が必要です。

至急度  必須
ご要望  必須
目的  必須
添付資料
お問い合わせ内容 
【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。

一般財団法人材料科学技術振興財団 MST

製品・サービス一覧(660件)を見る