●X線CT
X線照射により試料内部構造の二次元透過像を取得。試料を回転させた連続撮影データから、三次元CT画像を生成します。
金属材料はもとより、樹脂やカーボン素材等の有機系素材に威力を発揮します。
●超音波顕微鏡
試料に超音波を照射し、その反射波を検出。超音波は空気層で強い反射を起こすため、試料内部の空隙やクラックの観察が可能です。
●レーザー加工機
国内初導入機種(※)。FIBに比べ10^4倍の加工スピード。
X線CT用試料の着目箇所以外を削る事で不要な部分の映り込みを無くし、鮮明なCT画像の取得が可能です。
※株式会社ナノテクソリューションズ調べ(2018年3月時点)