【仕様(抜粋)】
■装置サイズ(WxDxH):505x505x570mm
■装置重量:約55kg
■有効対象物サイズ(WxDxH):155mmx155mmx40mm
■最大到達温度:650℃
■加熱方式:クロス配列IRヒーター(下部加熱)
■温度制御方式:P.I.D.制御方式
■プレート上面内温度差:設定温度に対して±1%以内(対象物:Φ200mmウエハ時)
■最大昇温速度(対象物の熱容量に因る):600K/min.
■最大降温速度(対象物の熱容量に因る):200K/min.(T=650℃>400℃)、60K/min.(T=200℃>100℃)
■チャンバー真空耐久度:0.1Pa(10-3hPa)
■プロセスガス供給ライン:マスフローコントローラx1(最大流量:5nlm)
■コントローラ:7インチタッチパネルコントローラ(SIMATIC製 TP-700)
■プロファイルプログラム登録数:最大50プログラム
■プログラムステップ数:最大50ステップ
■チャンバー冷却方式:ウォータージャケット方式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■装置サイズ(WxDxH):505x505x570mm
■装置重量:約55kg
■有効対象物サイズ(WxDxH):155mmx155mmx40mm
■最大到達温度:650℃
■加熱方式:クロス配列IRヒーター(下部加熱)
■温度制御方式:P.I.D.制御方式
■プレート上面内温度差:設定温度に対して±1%以内(対象物:Φ200mmウエハ時)
■最大昇温速度(対象物の熱容量に因る):600K/min.
■最大降温速度(対象物の熱容量に因る):200K/min.(T=650℃>400℃)、60K/min.(T=200℃>100℃)
■チャンバー真空耐久度:0.1Pa(10-3hPa)
■プロセスガス供給ライン:マスフローコントローラx1(最大流量:5nlm)
■コントローラ:7インチタッチパネルコントローラ(SIMATIC製 TP-700)
■プロファイルプログラム登録数:最大50プログラム
■プログラムステップ数:最大50ステップ
■チャンバー冷却方式:ウォータージャケット方式
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。