日精株式会社

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ギ酸・水素還元対応 真空はんだリフロー装置 RSS-160-S

最終更新日: 2020-10-15 14:57:45.0
フラックスレス・ボイドフリー・鉛フリーなど高信頼性実装を実現するスタンダードモデル。ユニテンプジャパン製

『RSS-160-S』は、フラックスレスやボイド除去、鉛フリーへの課題解決に
好適な、卓上型真空はんだリフロー装置です。

従来の”フラックス”や”水素還元”の他、「ギ酸」を使っての還元に対応。

ギ酸の強力な還元作用で、基板などの金属表面の酸化膜を効果的に除去し、
フラックス無しでも濡れ性の向上を実現。さらに真空技術を組み合わせ、
最高0.01%のボイドフリーを可能にします。

また、業界最小クラスのコンパクト設計ながら、さまざま試作開発に
対応する機能と性能を一台に凝縮しました。

【特長】
■毎分100℃のスピード昇温、さらに水冷式なのでタクトタイムを大幅削減
■最大到達温度400℃対応(オプションで500℃)
■ギ酸・水素・窒素など様々な雰囲気環境に対応
■設定した温度プロファイルをほぼそのまま実現
 繰返し精度も高く、オーバーシュートも殆どゼロ
■加熱プレート上の面内温度差がゼロに近く、大きなワークもムラなく加熱

※無償デモのご依頼も承ります。お気軽にお問い合わせ下さい。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【仕様(抜粋)】
■装置サイズ(WxDxH):300x420x220mm
■装置重量:約12kg
■有効対象物サイズ(WxDxH):155mmx155mmx40mm
■最大到達温度:400℃
■加熱方式:IRヒーター(下部加熱)
■温度制御方式:P.I.D.制御方式
■プレート上面内温度差:設定温度に対して±1%以内(対象物:Φ200mmウエハ時)
■最大昇温速度(対象物の熱容量に因る):100K/min.
■最大降温速度(対象物の熱容量に因る):100K/min.(T=400℃>200℃)
■チャンバー真空耐久度:0.1Pa(10-3hPa)
■プロセスガス供給ライン:マスフローコントローラx1(最大流量:5nlm)
■コントローラ:タッチパネルコントローラSIMATIC TP-700
■プロファイルプログラム登録数:最大50プログラム
■プログラムステップ数:最大50ステップ
■チャンバー冷却方式:ウォータージャケット方式
■加熱プレート冷却方式:水冷/空冷(共用可)

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価格情報 500万〜1500万円(機種・オプションに依る)
納期 お問い合わせください
※ ご注文確定より最短3ヶ月〜4ヶ月(状況により納期が変動しますので、詳しくはお問い合わせください。)
型番・ブランド名 RSS-160-S
用途/実績例 【用途】
■フラックスを使用しないはんだリフロー実装
■機能材料開発分野(バッテリー電極、導電フィルム素材など)
■電極などの金属面や、金属粉体の酸化還元
■銀ナノ、銅ナノペースト焼結時の酸化還元(防止だけではなく)

【納入実績】
■自動車業界(EV/HV向けパワーデバイス・高輝度LED実装)
■メディカルアプリケーション(ペースメーカー・内視鏡等)
■航空宇宙開発業界(レーダー・人工衛星・ロケット等)
■AISTやNICTなどの政府系研究機関や国立大学および大学院工学部系の私立大学

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ラインナップ

型番 概要
VSS-300
RSO-200
RVS-210
RSS-3×210-S
RSS-210-S
RSS160-S
RSS110-S

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