IPA 蒸気洗浄装置

最終更新日: 2023-06-16 09:27:55.0

デバイス・ウエハ・ガラス・部品等、材質や形状を問わず、高純度のIPA を用いたクリーン乾燥が可能

特徴
●材質や形状を問わず、高純度IPA を用いたクリーン乾燥が可能です。
●実績が示す万全の安全対策
●オールステンレスにより破損の危険性を排除
●べーパーゾーン、ドライゾーンに分け持ち出しIPA を削減
●お客様のワークに応じた仕様変更も可能です。

基本情報

装置仕様：IPA を用いたウエハの洗浄及び乾燥
乾燥対象：６インチ　１カセット相当
　　　　　シリコン、ガラス、部品等
槽構成：ステンレス製蒸気乾燥槽１層
　　　　アルミヒートブロック間接加熱方式
装置寸法：幅1,050(mm)× 奥行1,200(mm)× 高さ2,000(mm)

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用途／実績例	豊富な納入実績ガス監視やN2 パージ等の保安システム、万一の際の自動消火システムや緊急注水システム等万全の安全対策

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