最終更新日:
2024-02-28 14:30:39.0
高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。
『GLRシリーズ』は、下記特性を持つ高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。
■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2
■ 良好なパターニング性:4~20μm
■ 高透過率:≧ 95%
■ 良好な弾性特性
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基本情報
*詳しくは資料ダウンロードかお問い合わせください。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | フォトスペーサ―(PS)向けネガ型レジスト材料『GLRシリーズ』 |
用途/実績例 | *詳しくは資料ダウンロードかお問い合わせください。 |
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