大阪有機化学工業株式会社

ネガ型厚膜レジスト材料『HTRシリーズ』

最終更新日: 2024-02-26 16:57:42.0
様々な形状のパターンが作製可能なネガ型厚膜レジスト材料です。

下記のように、良好な露光感度および透過率を有するネガ型厚膜レジスト材料です。

■ 高感度:≧ 100 mJ/cm2
■ 高透過率:≧ 90% (Ave. @380~780 nm)
■ さまざまな露光条件およびパターン形状に適用可能
厚さ:10〜50 μm、線幅:≧10 μm、露光輝線:g、h、i –line

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基本情報

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型番・ブランド名 ネガ型厚膜レジスト材料『HTRシリーズ』
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