大阪有機化学工業株式会社

フォトスペーサ―(PS)向けネガ型レジスト材料『GLRシリーズ』

最終更新日: 2024-02-28 14:30:39.0
高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。

『GLRシリーズ』は、下記特性を持つ高精細な柱状パターンの形成が可能なネガ型レジスト材料です。

■ 高感度:≧ 50 mJ/cm2
■ 良好なパターニング性:4~20μm
■ 高透過率:≧ 95%
■ 良好な弾性特性

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型番・ブランド名 フォトスペーサ―(PS)向けネガ型レジスト材料『GLRシリーズ』
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