上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
油潤滑形ターボ分子ポンプ
関連情報
コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
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【特徴】
○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応
○広い真空領域で大流量排気が可能
○優れた到達圧力、高圧縮比
○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる
○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps）
○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要
○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計
○出力ケーブルや別置きコントローラが無い
→ケーブルダクトやコントローララックが不要
○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単
○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献
○省スペース化、アクセス性の向上
→各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を
前面に集約し、作業効率改善
○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献
○メンテナンス時のアクセスも容易
○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ
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【特徴】
○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応
○広い真空領域で大流量排気が可能
○優れた到達圧力、高圧縮比
○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる
○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps）
○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要
○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計
○出力ケーブルや別置きコントローラが無い
→ケーブルダクトやコントローララックが不要
○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単
○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献
○省スペース化、アクセス性の向上
→各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を
前面に集約し、作業効率改善
○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献
○メンテナンス時のアクセスも容易
○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
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【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）
お問い合わせ
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株式会社大阪真空機器製作所
