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関連情報
コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
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【特徴】
○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応
○広い真空領域で大流量排気が可能
○優れた到達圧力、高圧縮比
○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる
○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps）
○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要
○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計
○出力ケーブルや別置きコントローラが無い
→ケーブルダクトやコントローララックが不要
○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単
○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献
○省スペース化、アクセス性の向上
→各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を
前面に集約し、作業効率改善
○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献
○メンテナンス時のアクセスも容易
○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ
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【特徴】
○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応
○広い真空領域で大流量排気が可能
○優れた到達圧力、高圧縮比
○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる
○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps）
○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要
○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計
○出力ケーブルや別置きコントローラが無い
→ケーブルダクトやコントローララックが不要
○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単
○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献
○省スペース化、アクセス性の向上
→各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を
前面に集約し、作業効率改善
○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献
○メンテナンス時のアクセスも容易
○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
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半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
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【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）
『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！
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今回は新型コロナウィルスの影響により、「VACUUM2020 真空展」はオンライン開催されます。事前登録は無料になっており、製品情報など様々な情報を閲覧することが出来ます。皆様のご参加を心よりお待ちしております。
【VACUUM2020真空展 出展情報】
2020年10月14日(水)～11月13日(金) 入場料：無料（登録制）
URL：https://nikkan-fair.com/account/create
【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
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【MS-3C100L ソフトウェア機能】
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
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株式会社大阪真空機器製作所
