株式会社大阪真空機器製作所

磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkine-Rシリーズ

最終更新日: 2022-11-30 15:11:37.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

きたるIoT社会に向けた広がる真空用途、広げる製品群!
TGkine-Rシリーズは、電源・コントローラ一体型磁気軸受形ターボ分子ポンプTGkine-Bシリーズと同性能のコントローラ分離型の磁気軸受形ターボ分子ポンプです。当ポンプは稼働データ、タッチダウン回数、機種情報等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
https://osakavacuum.co.jp/products/#TGKR_Series

詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連情報

半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展 製品画像

【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ~ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219(前工程ゾーン ;南2ホール)

『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介
『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介 製品画像

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介!
真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介! 製品画像

今回は新型コロナウィルスの影響により、「VACUUM2020 真空展」はオンライン開催されます。事前登録は無料になっており、製品情報など様々な情報を閲覧することが出来ます。皆様のご参加を心よりお待ちしております。

【VACUUM2020真空展 出展情報】
2020年10月14日(水)~11月13日(金) 入場料:無料(登録制)
URL:https://nikkan-fair.com/account/create

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様 製品画像

【MS-3C100L ソフトウェア機能】
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
 基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
 スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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