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関連情報
磁気軸受形複合分子ポンプ TG420M
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【製品の特長】
○取付姿勢自在
○急速起動・停止
○チューニングフリー
○回転数コントロール
○シリアル通信可能
○オイルフリー
○安全規格適合 NRTL/SEMI－S2/CE
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
磁気軸受形複合分子ポンプ TG900M
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【製品の特長】
○取付姿勢自在
○急速起動・停止
○チューニングフリー
○回転数コントロール
○シリアル通信可能
○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE）
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
磁気軸受形複合分子ポンプ TG1300M
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【製品の特長】
○取付姿勢自在
○急速起動・停止
○チューニングフリー
○回転数コントロール
○シリアル通信可能
○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE）
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
磁気軸受形複合分子ポンプ TG2400M
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【製品の特長】
○大流量排気
○取付姿勢自在
○急速起動・停止
○チューニングフリー
○回転数コントロール
○シリアル通信可能
○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE）
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
超高真空形 磁気軸受形複合分子ポンプ(高圧縮タイプ)TG-MU
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【製品の特長】
○水素圧縮比60,000を達成
○内部放出ガスを低減
○単独で、超高真空領域に近い到達圧力が得られます
極低振動 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MLシリーズ
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【製品の特長】
■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による
■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
反応生成物対応 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MIシリーズ
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【製品の特長】
○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上
○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減
○排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
耐放射線仕様 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-MRシリーズ
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【製品の特長】
○放射線に対する耐久性を高めています
○放射線環境下での運転を可能にしました
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ排気システム STシリーズ
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【製品の特長】
○簡単操作で高真空まで排気
○キャスター付きで移動が簡単
○外乱に強く、ポンプ運転中でもユニットの移動が可能
○必要に応じてオプション機器の取り付けが可能
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
ターボ分子ポンプ排気システム ST-Compact
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【製品の特長】
○高圧縮ターボ分子ポンプTG70Fを搭載
○卓上サイズの省スペース設計
○研究設備の簡易排気装置に最適
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
姿勢自在形 複合分子ポンプ(TG-Fシリーズ)
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【製品の特長】
○グリス潤滑形で50～240OL/sまでラインナップ
○取付姿勢が全方位自在で、使用が簡単
○メンテナンスフリー
○丈夫でコンパクトな設計で、かつ軽量
●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
油潤滑形複合分子ポンプ(TGシリーズ)
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○ケミカル対応：
全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。
○ダストに強い構造：
ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。
○大気突入に強い構造：
不意の大気突入に強い堅牢設計です。
コンパクトドライ真空ポンプ DSP250/DSP500
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●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
【納入事例】X線計測実験真空容器用高真空排気システム
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株式会社大阪真空機器製作所
