上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
真空機器、真空ポンプの開発・製造・販売・メンテナンスサービスなどを行う株式会社大阪真空機器製作所の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
省エネルギーで小型・軽量を実現。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティが特徴の「省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC」
省エネルギーで小型・軽量を実現。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティが特徴の「省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC」
関連情報
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
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【特徴】
○省エネルギー、小型・軽量化を実現
○省エネルギー対応
→到達圧力時消費電力：400W
○小型・軽量を実現
→設置面積：0.11m2（230×450mm）
○重量：60kg
○省ユーティリティ
→冷却水量・バージガス量の削減
○国際規格適合
○用途に応じた製品仕様
→ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適
→ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
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【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）
【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
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【MS-3C100L ソフトウェア機能】
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社大阪真空機器製作所
